MOVCD石墨盤的作用?
作者:http://www.m.gzmeilong.com
發布時間:2023-08-18 10:44:42
做凈化處理用的MOVCD石墨盤清潔設備,其特征在于,其包括:氣路控制器,真空反響室,加熱單元,壓力控制器,泵,尾氣處理設備;帶腐蝕性的氣體與載氣進入所述氣路控制器中,該氣路控制器將其按比率混合后通入所述的真空反響室內,所述的加熱單元進行加熱控溫,且所述的壓力控制器進行壓力控制,該混合氣體與石墨盤表面沉積物充沛反響,反響殘留物通過泵隨載氣一同排出真空反響室,進入尾氣處理設備進行凈化處理。
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