如何清洗石墨舟?
一、清洗前的供認
1、石墨舟在運用超過100次時需求操作人員及時查看鍍膜狀況,呈現鍍膜失常,需求進行清洗供認。硅片在石墨舟內正常鍍膜的顏色是藍色,片內呈現非藍色、多種顏色或片與片間顏色差異較大,都是鍍膜失常,需求及時供認失常原因。
2、由工藝人員對石墨舟的鍍膜情況進行剖析后,確定石墨舟是否需求清洗以及卡點是否需求替換,將需清洗的石墨舟交由設備人員清洗。
3、石墨舟損壞后,由生產人員取出石墨舟內一切的硅片,并運用CDA(壓縮空氣)對石墨舟內碎片進行收拾,結束后設備人員將其抬入已經配好必定份額HF溶液的酸槽中進行清洗。
二、石墨舟的清洗
1、打開酸槽排水閥,待廢酸排盡,用水槍對酸槽進行沖刷。
2、關上閥門,將石墨舟放進酸槽中,打開進水閥門,往酸槽里放入純水直到水能夠吞沒石墨舟中止,關閉水閥。然后在酸槽加入HF酸(4瓶),把清洗機的窗戶關好,然后初步清洗(要在酸中浸泡6個小時左右)。清洗過程中戴好防酸堿手套,將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗潔凈,如果到時間還未洗潔凈,再持續清洗,直到潔凈中止。
3、清洗潔凈之后,放入水槽,用水槍沖刷后關上排水閥,放水,以水沒過舟為準, 漂洗一般需2個小時。
4、清洗結束后,將石墨舟從水槽中取出,用氣槍吹掉外表顯著的水珠。
5、將石墨舟抬入專用烘箱,關上烘箱門鎖緊;打開電源開關—風機開關—升溫開關—報警開關;溫控表設定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(通過檢驗石墨舟在烘箱烘干后與運用前的石墨舟無差別方可取出)。
6、設定溫度20度,一般降溫半個小時烘箱里的石墨舟達到常溫,能夠取出。
7、將石墨舟上的一切螺母扭緊并查看石墨舟一切的陶瓷件,需求替換工藝點的石墨舟,取出后需求入修補間專用貨架等候修補。