什么是直拉單晶爐的熱體系?
直拉單晶爐的熱系統,也便是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶成長保持在溫度下進行的整個系統。
石墨熱場一般包括(石墨資料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了避免漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
簡略的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統。咱們出產的石墨熱場常見的是18寸,22寸寸和24寸。一種盛行的設計方案是選用石墨資料制作熱場隔熱部件。規范的石墨保溫資料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維資料組成,在靠近熱場中心的內表面往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復合資料薄板用來提高熱反射率和避免高壓氣流的沖刷。由于石墨資料自身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱資料之間不需求預留額定的空間。石墨資料具有優異的隔熱功用,本錢一般較金屬屏低,并且十分易于運用。就制作本錢,耐用性和可維護性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有 的優勢。通過出產實踐,金屬隔熱屏往往不適于環境惡劣的真空釬焊工藝。
來自于焊料的金屬物質會沉積在金屬隔熱屏的表面,由于隔熱屏與所附著的焊料物質的熱膨脹系數不同,金屬隔熱屏會發生曲折變形與開裂,這會下降金屬屏的隔熱功用。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很簡略遭到危害,導致屏的表面構成孔洞,熱量會從這些孔洞中傳遞出去。
當然,運用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏會延伸金屬熱場的運用壽數,可是卻增加了可觀的本錢。比較好的解決方案是選用石墨資料制作隔熱部件,實踐證明,雖然在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱資料的表面,可是卻不會發生熔解的焊料與石墨隔熱資料的熔合現象。雖然有人會質疑,以為石墨資料比金屬資料更簡略吸收水分,水分對釬焊工藝進程危害很大,可是,實踐證明熱場循環往復的升溫與降溫會很好地打掃石墨隔熱材猜中的水分。
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