石墨制品：石墨舟的HF清洗步驟

一般石墨制品石墨舟在工作100至150次后就應該進行清洗,這是因為石墨舟上的SiN會跟著工作次數的添加而添加，影響石墨舟的正常運用。
    在室溫條件下(<40°C)，將石墨制品石墨舟的部件放入HF濃度(5–20%)的腐蝕槽內進行腐蝕。最好的濃度是10%，腐蝕時間為4~6小時。低濃度條件下，腐蝕槽會被發生的SiN顆粒污染，因此需求進行守時的過濾維護。濃度高于10%會對操作人員造成危險。全部部件應該被分隔放入腐蝕槽內而且不可相互接觸，這樣HF酸就能夠腐蝕到任何部位，這關于石墨聯接塊而言更為重要。
    在2號純水槽內將其用純水漂洗4~6小時。
    用PH-試紙查看活動的水是不是中性的，有必要確保全部的蝕刻殘渣(SiF4)都現已被洗掉，任何蝕刻殘渣被帶入爐管都或許引起沾污或許工藝問題。能夠在石墨上看到白色的一層便是殘渣，全部部件都有必要分隔放置這樣能夠避免酸液殘留在其間。
    在85°C條件下，將別離的舟各部件烘干24小時。
    石墨像海綿相同能夠蓄水并堅持比較長的時間;在100°C以上烘干或許是在未干的狀態下將其送入爐管會引起水的遽然氣化，這會使石墨分裂。將一個沒有徹底枯燥的舟放入爐管還或許導致爐門邊際的腐蝕以及真空系統的過火堆積。
在供應的設備臺大將舟設備好。查看有無危害。
    用CentroTherm供應的轉矩扳手(0.6Nm)擰緊陶瓷螺絲，石墨螺絲比較易碎，因此有必要用手小心擰緊。