石墨制品石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點
作者:http://www.m.gzmeilong.com
發布時間:2024-03-12 17:02:20
石墨制品石墨舟裝片房:用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣到達凈化要求。
石墨制品石墨舟工作原理:
空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從而確保了工作區內到達工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。
石墨制品石墨舟主要特點:
1、能精確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、選用不銹鋼制造,整機結構鞏固牢靠;
3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉180度;
5、凈化風機噪音小于50dB。
6、確保了工作區內到達工藝要求的潔凈度100級。
