石墨制品拉伸單晶所用石墨異形件加工

石墨制品拉伸單晶所用石墨異形件加工
    石英蠟場制效果石墨坩場和石墨制品超高純石墨部件加工在Cz法拉伸單晶硅時運用石英坩蝸。石墨異形件加工石英坩期的制造工藝為在石墨模具內裝人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋轉的一起運用離心力使粉末沿模具內壁附著，然后將多個石墨制品高純石墨異形件加工刺進模具中運用電弧放電加熱至大約2000℃，溶融粉末和內側的粉末變化為溶融石英并通明，冷卻后取出石英址鍋，除去外部粉末即為制品。電極因放電而氧化耗費，由于電極放置在水晶粉末的上方，為不混入金屬雜質需運用超高純石墨。
    PBN(熱分解氮化硼）坩場制效果石墨異形件加工在拉伸單晶化合物時運用PBN坩塌。PBN坩場的制造工藝為，以加工成型的高純石墨模具為基材，運用CVD法在其外表蒸鍍BN。由于石墨的線膨脹系數比PBN的大，冷卻后能簡略取出PBN坩場。為了前進PBN的純度，也要求運用高純石墨異形件加工。